可集成线过滤的超低电化学电容器

　　预计电化学电容器将替换用于集成电路和便携式电子设备的直线过滤中的常规电解电容器1,2,3,4,5,6,7,8。但是，由于协同实现快速响应，高特异性电容，微型化和与电路兼容的整合1,4,4,5,9,10,10,11,12 。在这里，我们提出了一种电场增强策略，以同时促进频率特征和电容。通过用飞秒激光涂板缩小通道宽度，微型窄通道内的窄通道内电化学电容器显示出电极材料和电解质内的离子电阻大大降低，导致超出的串联电阻在120 Hz时为39mΩcm2。结果，在120 Hz时的相角度为-80°，达到高达5.2 mf cm -2的超高面积，是预测的最高先前13,14的两倍，几乎没有降解以上，超过1,000,000个周期。该电化学电容器在微电路中的可扩展整合显示出80个电池CM-2的高积分密度和电容和电压的按需定制。鉴于出色的过滤性能和电路兼容性，这项工作提出了对线进行过滤的电化电容器的重要步骤，用于集成电路和灵活的电子设备中的实际应用。

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